Застосування нержавіючих трубок у напівпровідниковій промисловості Нержавіючі трубки, особливо високочисті безшовні трубки з нержавіючої сталі (316L, 316L EP, BA), є незамінним ключовим базовим матеріалом на напівпровідникових виробничих підприємствах (Fab), виконуючи головним обра...
Застосування нержавіючих трубок у напівпровідниковій промисловості
Нержавіючі трубки, особливо високочисті безшовні трубки з нержавіючої сталі (316L, 316L EP, BA), є незамінним ключовим базовим матеріалом на напівпровідникових виробничих підприємствах (Fab), виконуючи головним чином завдання транспортування надчистих газів, хімічних реагентів та ультрачистої води.
Виробництво напівпровідникових чіпів надзвичайно чутливе до забруднення:
1.Забруднення частинками (Particle)
2.Забруднення іонами металів (Metal Contamination)
3.Забруднення вологою (Moisture)
4.Забруднення органічними речовинами (TOC)
Навіть домішки нанометрового рівня можуть спричинити шлюб всієї пластини.
Тому система транспортування повинна мати:
1.Надвисокою чистотою
2.Надзвичайно низьким рівнем виділення домішок
3.Корозійної стійкістю
4.Відсутністю утворення частинок
5.Здатністю до довготривалої стабільної роботи
І електрополіровані (EP) трубки з нержавіючої сталі 316L в даний час є основним рішенням.
Основні сценарії застосування:
1.Системи подачі спеціальних газів
2.Системи ультрачистої води
3.Системи подачі хімічних реагентів
4.Вакуумні системи
Стандарти на нержавіючі трубки, які широко застосовуються в напівпровідниковій промисловості.
| Найменування | Стандарт |
| Матеріал | 316L |
| Стандарт | ASTM A269 |
| Стандарт надвисокої чистоти | SEMI F20 |
| Обробка поверхні | BA, EP |
| Шорсткість | Ra ≤ 0,25 мкм |
| Спосіб зварювання | Орбітальне зварювання |
| Клас чистоти | Клас 100/ISO 5 |
В галузі автомобільної промисловості: 1.Сценарії застосування: Широко застосовуються в таких ключових...
Спеціальна трубка для зшиваючого апарату Призначення: Найважливіший компонент трубчастого медичного...
Хімічний склад нержавіючої сталі Марка сталі C Si Mn P S Cr Ni Mo Ti SUS304 ≤0,08 ≤1,00 ≤...
Хімічний склад нержавіючої сталі Марка сталі C Si Mn P S Cr Ni Mo Ti SUS304 ≤0,08 ≤1,00 ≤...
Голка з нержавіючої сталі — високоточна тонкостінна капілярна голка Призначення: Є основ...
Хімічний склад нержавіючої сталі Марка сталі C Si Mn P S Cr Ni Mo Ti SUS304 ≤0,08 ≤1,00 ≤...
Хімічний склад нержавіючої сталі Марка сталі C Si Mn P S Cr Ni Mo Ti SUS304 ≤0,08 ≤1,00 ≤...
Аустенітна нержавіюча сталь (Austenitic Stainless Steel) завдяки своїй чудовій корозійній...
Сердечник з нержавіючої сталі для силових акумуляторних батарей Призначення: В області силових акумуляторів.
Тубус для введення ендоскопа (жорсткий ендоскоп) Призначення: Основний корпус ендоскопа, всередині ко...
Хімічний склад нержавіючої сталі Марка сталі C Si Mn P S Cr Ni Mo Ti SUS304 ≤0,08 ≤1,00 ≤...
Комплектуючі з нержавіючої трубки для ультразвукового хірургічного гемостатичного скальпеля.
Товстостінна капілярна трубка — Області застосування: Контрольно-вимірювальні прилади Сценарії.
Нержавіюча трубка для медичної фрези Головка фрези (ріжуча частина): Виготовляється з нержавіючої сталі.
